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封閉式干涉式激光尺利用微型激光干涉儀，以工業(yè)應(yīng)用中最重要的線型標(biāo)定為核心，將光學(xué)相干光路等集成在單個(gè)光電芯片上，一步實(shí)現(xiàn)激光干涉儀的線型測(cè)長(zhǎng)和標(biāo)定功能，從而簡(jiǎn)化了干涉儀系統(tǒng)測(cè)試時(shí)的復(fù)雜程度。

MetriLiDAR MM-X系列微型激光干涉儀將參考光路內(nèi)置于干涉儀中，將光學(xué)相干光路等集成在單個(gè)光電芯片上，一步實(shí)現(xiàn)激光干涉儀的線型測(cè)長(zhǎng)和標(biāo)定功能，從而簡(jiǎn)化了干涉儀系統(tǒng)測(cè)試時(shí)的復(fù)雜程度。